Specielt udviklet til bølgefrontanalyse i højhastighedsindustri-, forsvars- og videnskabelige forskningsscenarier såsom flyvende skud og flowfelter, den har en ultrahøj opløsning på 420×420 (176400) fasepunkter, en bredspektret respons på 400-1100nm, og 107 rammer med højhastighedssampling, der giver et ideelt bølgefrontsfølende måleværktøj til waferoverfladen ruhedsdetektion, siliciumbaseret og glassubstratmikromorfologimåling, aerodynamisk optik, højhastighedsflowfelt, gasplasmadensitetsmåling osv.
FIS4-HS ultrahøj hastighedfire-bølge interferenssensorkombinerer den patenterede tilfældigt kodede fire-bølge-diffraktionsteknologi med et højhastighedskamera og forstyrrer i den bagerste billedplanposition. Den har lave krav til lyskildekohærens og kræver ikke faseskift. Almindelige billeddannelsessystemer kan opnå interferensmåling. Den har ultrahøj vibrationsmodstand, ultrahøj stabilitet og ultrahøjhastighedsbilleddannelse. Det kan opnå præcisionsmåling på nm-niveau uden vibrationsisolering.
Hovedtræk
◆ Ultrahøj opløsning på 420×420 (176400) fasepunkter
◆ Sampling frame rate op til 107fps
◆ Enkeltvejslys selvinterferens, intet referencelys påkrævet
◆ Bredt spektrum 400nm~1100nm bånd
◆ 2nm RMS højfaseopløsning
◆ Ekstremt stærk vibrationsmodstand, intet behov for optisk vibrationsisolering
◆ Enkel og hurtig optisk vejkonstruktion som billeddannelse
◆ Støt kollimeret stråle, stor NA konvergerende stråle
Produktanvendelse
Detektion af ruhed af waferoverflader, siliciumbaseret, mikromorfologimåling af glassubstrat, aerodynamisk optik, højhastighedsstrømningsfelt, gasplasmadensitetsmåling.
