FIS4 fire-bølge interferometer sensorer udviklet af et team af professorer fra Zhejiang University og Nanyang Technological University, Singapore. Det har indenlandsk patentteknologi, kombinerer diffraktion og interferens, realiserer common-path fire-bølge lateral shear interferens, har super detektionsfølsomhed og vibrationsmodstand og kan opnå real-time, højhastigheds dynamisk interferometermåling uden vibrationsisolering; realtidsmålingens billedhastighed når mere end 10 billeder. Samtidig har FIS4-sensoren en ultrahøj faseopløsning på 512×512 (260.000 fasepunkter), målebåndet dækker 200nm~15μm, målefølsomheden når 2nm, og målingens repeterbarhed er bedre end 1/1000λ ( RMS). Den kan bruges til laserstrålekvalitetsanalyse, plasmaflowfeltdetektion, realtidsmåling af højhastighedsflowfeltfordeling, evaluering af optisk systembilledkvalitet, mikroskopisk konturmåling og biologisk celle kvantitativ fasebilleddannelse osv.
FIS4 interferenssensor enkeltstråleinterferens optisk vej
Funktionsprincippet for fire-bølge interferenssensoren er, at bølgefronten, der skal detekteres, diffrakteres af et tilfældigt kodet hybridgitter, og fire diffrakteret lys genereres i to ortogonale retninger. Disse fire diffrakterede lys interfererer på billedoverfladen, og fire bølgefronts laterale forskydningsinterferenskanter kan opnås.
Fordele ved 4-bølge interferenssensoren: Enkelt optisk vejinterferens har superstærk vibrationsmodstand, intet referencelys er påkrævet, simpelt layout, ingen speciel interferensenhed er påkrævet, hurtig og nem justering, realtidsbilleddannelse er mulig, ingen faseforskydning proces er påkrævet, og den er særligt velegnet til højpræcisionsdetektion i fabriksmiljøer.
