Den ultraviolette fire-bølge interferometriske sensor inkorporerer vores proprietære teknologi til randomiseret kodende fire-bølge diffraktion, hvilket muliggør interferens i det bagerste brændplan med minimale krav til lyskildens sammenhæng, hvilket eliminerer behovet for faseskift. Gennem det ultraviolette billeddannelsessystem er sensoren i stand til bølgefrontmåling i realtid, udviser fremragende vibrationsmodstand og stabilitet og kan opnå præcisionsmålinger på nanometerniveau selv uden brug af vibrationsisolering. BOJIONG Optoelectronics er klar til at omdefinere standarderne for optisk ydeevnemåling og analyse, hvilket fører industrien ind i en ny æra af præcision og effektivitet.
|
Produktnavn |
Ultraviolet fire-bølge interferometrisk sensor |
|
Bølgelængdeområde |
200nm~450nm |
|
Målstørrelse |
13,3 mm×13,3 mm |
|
Rumlig opløsning |
26μm |
|
Sampling opløsning |
512×512（262144pixel） |
|
Faseopløsning |
＜2nmRMS |
|
Absolut nøjagtighed |
10nmRMS |
|
Dynamisk rækkevidde |
90μm （256 min） |
|
Sampling rate |
32 fps |
|
Behandlingshastighed i realtid |
10Hz (fuld opløsning) |
|
Interface type |
USB3.0 |
|
Dimension |
70 mm×46,5 mm×68,5 mm |
|
Vægt |
omkring 240 g |
◆ UV-spektrum 200nm ~ 450nm bånd
◆Ultrahøj opløsning på 512×512 (262144) fasepunkter
◆ Enkeltkanals lys selvinterferens, intet referencelys påkrævet
◆2nm RMS høj fase opløsning
◆ Ekstremt stærk anti-vibrationsydelse, intet behov for optisk vibrationsisolering
◆Ligesom billedbehandling, nem og hurtig optisk vejkonstruktion
◆Understøtter kollimerede stråler og høj NA ikke-kollimerede stråler
Denne BOJIONG ultraviolette fire-bølge interferometriske sensor, der bruges til måling af optisk systemaberration, optisk systemkalibrering, måling af flad (wafer) overfladeform, måling af optisk sfærisk overfladeform osv.
|
Laserstrålebølgefrontdetektion |
Bølgefrontdetektionsrespons af adaptiv optik Zernike-tilstand |
|
Eksempel på aberrationsmåling af optisk system |
Eksempler på måling af optisk systemkalibrering |
|
Eksempel på måling af waferoverfladeruhed |
Mikroætsningsmorfologimåling - defektprøve 1 # -114 linjer |
BOJIONG Ultraviolet Fire-bølge interferometrisk sensor udviklet af et team af professorer fra Zhejiang University og Nanyang Technological University of Singapore, med indenlandsk patenteret teknologi, den kombinerer diffraktion og interferens for at opnå en fælles fire-bølge tværgående forskydningsinterferens med overlegen detektionsfølsomhed og anti -vibrationsydelse, og kan realisere real-time og højhastigheds dynamisk interferometri uden vibrationsisolering. Realtidsmålingen viser en billedhastighed på mere end 10 billeder. Samtidig har FIS4-sensoren en ultrahøj faseopløsning på 512×512 (260.000 fasepunkter), målebåndet dækker 200nm~15μm, målefølsomheden når 2nm, og målingens repeterbarhed er bedre end 1/1000λ ( RMS). Det kan bruges til laserstrålekvalitetsanalyse, plasmaflowfeltdetektion, realtidsmåling af højhastighedsflowfeltfordeling, billedkvalitetsevaluering af optisk system, mikroskopisk profilmåling og kvantitativ fasebilleddannelse af biologiske celler.
|
FIS4 Tekniske parametre for hver serie af produkter |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Produkt |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
FIS4 UR |
FIS4-HS |
FIS4-celle |
FIS4-NIR |
|
Bølgelængdeområde |
200~450nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
900~1200nm |
|
Målstørrelse mm² |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
|
Rumlig opløsning |
26μm |
23,6 μm |
26μm |
24,4 μm |
23,6 μm |
26μm |
|
Billedpixel |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
|
Fase output opløsning |
512×512 （262144 pixel） |
300×300（90000 pixels） |
512×512（262144pixel） |
420×420（176400 pixel） |
300×300（90000 pixels） |
512×512（262144pixel） |
|
Faseopløsning |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
|
Absolut nøjagtighed |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
|
Dynamisk rækkevidde |
90 μm （256 min.） |
110 μm （150 min.） |
162μm （256 min.） |
132μm （210 min.） |
110 μm （150 min.） |
270 μm （256 min.） |
|
Sampling rate |
32 fps |
24 fps |
45 fps |
107 fps |
24 fps |
45 fps |
|
Behandlingshastighed i realtid |
10 Hz (Fuld opløsning) |
10 Hz (Fuld opløsning) |
10 Hz (Fuld opløsning) |
10 Hz (Fuld opløsning) Understøtter forsinket batchbehandling |
10 Hz (Fuld opløsning) |
10 Hz (Fuld opløsning) |
|
Interface type |
USB3.0 |
HAKKE |
USB3.0 |
HAKKE |
HAKKE |
USB3.0 |
|
Ekstern grænseflade |
- |
- |
- |
- |
C port |
- |
|
Størrelse mm² |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
|
vægt |
omkring 240 g |
omkring 120 g |
omkring 240 g |
omkring 120 g |
omkring 120 g |
omkring 240 g |
Adresse
nr. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, Kina
Tlf
