Laser Planar Interferometer

Laser Planar Interferometer (LPI-100) er med sin dynamiske realtidsmålingshastighed på op til 15 billeder i sekundet i stand til realtidsdetektering af overfladeformen af ​​plane optiske elementer inden for en 100 mm blændeåbning. Strålen, der bærer overfladeforminformationen for det målte element, afbrydes gennem et specielt kodet gitter, som lateralt forskyder bølgefronten i fire dele, og danner et todimensionelt interferensmønster med fællesvejsforskydning med fire bølgefronter. Ved at demodulere den todimensionelle interferens kan overfladeforminformationen for elementet opnås.

Varespecifikation:

Funktion af BOJIONG Laser Planar Interferometer

◆Op til 15 billeder med dynamisk realtidsmåling

◆2nm RMS Høj faseopløsning

◆ Super høj opløsning på 262144 fasepunkter

◆ Kan realisere dynamisk detektion i realtid, kan opnå 15 billeder/sekund dynamisk detektion

◆ Med uafhængige intellektuelle ejendomsrettigheder, omkostningseffektiv, enkel justering, kompakt struktur

◆Baseret på princippet om fælles kanal selvinterferens, har udstyret ikke brug for et referencespejl og har en stærk modstandsevne Interferens, i det almindelige fabriksmiljø kan også opnå nøjagtig detektion af flad overflade

Anvendelse af BOJIONG Laser Planar Interferometer

Dette BOJIONGLaser plane interferometer er udstyret med FIS4 fire-bølge interferometriske sensorer til at detektere den standard plane spejlform, og behandlingssoftwaren udsender PV-værdien, RMS-værdien og POWER-værdien af ​​overfladen af ​​den testede komponent.

BOJIONG Laser Planar Interferometer Detaljer

BOJIONG Planar Fire-wave Dynamic Interferometer overordnet layoutdiagram

De funktionelle moduler i BOJIONG Laser Planar Interferometer kan opdeles i et belysningslyskildemodul, et sekundært stråleudvidelsesmodul, et bæremodul, et punktfokuseringsmodul til at assistere med prøveholdningsjustering og et interferometrisk sensormodul til prøveoverfladeformdetektion .

Systemets lyskildemodul anvender en gashelium-neonlaser med en central bølgelængde på 632,8 nm.

Det sekundære stråleudvidelsesmodul udvider strålestørrelsen til 100 mm, hvilket opfylder kravene til detektering med stor diameter.

Scenesektionen bruges til at placere plane optiske komponenter, der skal testes, såsom flade krystaller, enkeltkastskiver, vindueschips, plane reflektorer osv. Indlæsningstrinnet er udstyret med X- og Y-retnings bevægelige håndhjul for at kontrollere prøvens bevægelse. trin, således at udstyrets udsendte lysplet fuldstændigt dækker overfladen af ​​testprøven. Samtidig er der også installeret to knapper på scenen for at justere prøvens vippestilling. Ved at justere disse drejeknapper laves testplanet vinkelret på den optiske akse.

Billedsystemet har et dobbelt kamerasystem. En af dem bruger et optisk billedkamera til at danne et punktfokuseringsmodul til at hjælpe med prøvestillingsjustering. Ved at observere prøvens returpunktposition i realtid justeres prøvestillingen for at sikre målenøjagtighed. Den anden vej er udstyret med FIS4 fire-bølge interferometrisk sensor, der danner et interferometrisk sensormodul til prøveoverfladeformdetektion. Ved at registrere fælles vej-interferometriske frynser kan der opnås realtidsfeedback af tredimensionel information på overfladen af ​​testprøven. Det dobbelte kamerasystem kan arbejde samtidigt.

Professionelt softwaremodul

◆ Udstyret med "Laser Planar Interferometer"-softwaren kan den vise og udsende 3D-billeder i realtid af det målte optiske elementplan, output PV-værdier, RMS-værdier og POWER-værdier af den målte overflade.

◆Samtidig understøtter softwaren eksport af rådata af måleresultater, giver kvantitativ detektionsdataunderstøttelse til forskellige undersøgelser og gør det lettere for brugere at udføre dataanalyse og forskning i fremtiden.