Ultraviolet Wavefront Sensor, med en høj faseopløsning på 2NM RMS og ekstrem stærk vibrationsmodstand. Den har også en opløsning på 512×512 pixels (262.144 fasepunkter), der er i stand til at udføre interferensmålinger ved det bagerste brændplan. Teknologien kræver, at lyskilden har lav sammenhæng og eliminerer behovet for faseskift. Med det ultraviolette billeddannelsessystem er enheden i stand til bølgefrontmåling i realtid.
|
produktnavn |
Ultraviolet bølgefrontsensor |
|
Bølgelængdeområde |
200nm~450nm |
|
Målstørrelse |
13,3 mm×13,3 mm |
|
Rumlig opløsning |
26μm |
|
Sampling opløsning |
512×512（262144pixel） |
|
Faseopløsning |
＜2nmRMS |
|
Absolut nøjagtighed |
10nmRMS |
|
Dynamisk rækkevidde |
90μm (256 min) |
|
Sampling rate |
32 fps |
|
Behandlingshastighed i realtid |
10Hz (fuld opløsning) |
|
Interface type |
USB3.0 |
|
Dimension |
70 mm×46,5 mm×68,5 mm |
|
Vægt |
omkring 240 g |
◆ UV-spektrum 200nm ~ 450nm bånd
◆Ultrahøj opløsning på 512×512 (262144) fasepunkter
◆ Enkeltkanals lys selvinterferens, intet referencelys påkrævet
◆2nm RMS høj fase opløsning
◆Ligesom billedbehandling, nem og hurtig optisk vejkonstruktion
◆Understøtter kollimerede stråler og høj NA ikke-kollimerede stråler
◆ Ekstremt stærk anti-vibrationsydelse, intet behov for optisk vibrationsisolering
Denne BOJIONG ultraviolette bølgefrontsensor, der bruges til måling af optisk systemaberration, kalibrering af optisk system, måling af flad (wafer) overfladeform, måling af optisk sfærisk overfladeform osv.
|
Laserstrålebølgefrontdetektion |
Bølgefrontdetektionsrespons af adaptiv optik Zernike-tilstand |
|
Eksempel på aberrationsmåling af optisk system
|
Eksempler på måling af optisk systemkalibrering
|
|
Eksempel på måling af waferoverfladeruhed
|
Mikroætsningsmorfologimåling - defektprøve 1 # -114 linjer |
BOJIONG Ultraviolet Wavefront Sensor udviklet af et team af professorer fra Zhejiang University og Nanyang Technological University of Singapore, med indenlandsk patenteret teknologi, den kombinerer diffraktion og interferens for at opnå en fælles fire-bølge tværgående forskydningsinterferens med overlegen detektionsfølsomhed og anti-vibrationsydelse. , og kan realisere realtid og højhastigheds dynamisk interferometri uden vibrationsisolering. Realtidsmålingen viser en billedhastighed på mere end 10 billeder. Samtidig har FIS4-sensoren en ultrahøj faseopløsning på 512×512 (260.000 fasepunkter), målebåndet dækker 200nm~15μm, målefølsomheden når 2nm, og målingens repeterbarhed er bedre end 1/1000λ ( RMS). Det kan bruges til laserstrålekvalitetsanalyse, plasmaflowfeltdetektion, realtidsmåling af højhastighedsflowfeltfordeling, billedkvalitetsevaluering af optisk system, mikroskopisk profilmåling og kvantitativ fasebilleddannelse af biologiske celler.
|
FIS4 Tekniske parametre for hver serie af produkter |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Produkt |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
FIS4 UR |
FIS4-HS |
FIS4-celle |
FIS4-NIR |
|
Bølgelængdeområde |
200~450nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
400~1100nm |
900~1200nm |
|
Målstørrelse mm2 |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
|
Rumlig opløsning |
26μm |
23,6 μm |
26μm |
24,4 μm |
23,6 μm |
26μm |
|
Billedpixel |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
|
Fase output opløsning |
512×512 （262144 pixel） |
300×300（90000 pixels） |
512×512（262144pixel） |
420×420（176400 pixel） |
300×300（90000 pixels） |
512×512（262144pixel） |
|
Faseopløsning |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
|
Absolut nøjagtighed |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
|
Dynamisk rækkevidde |
90 μm （256 min.） |
110 μm （150 min.） |
162μm （256 min.） |
132μm （210 min.） |
110 μm （150 min.） |
270 μm （256 min.） |
|
Sampling rate |
32 fps |
24 fps |
45 fps |
107 fps |
24 fps |
45 fps |
|
Behandlingshastighed i realtid |
10 Hz (Fuld opløsning) |
10 Hz (Fuld opløsning) |
10 Hz (Fuld opløsning) |
10 Hz (Fuld opløsning) Understøtter forsinket batchbehandling |
10 Hz (Fuld opløsning) |
10 Hz (Fuld opløsning) |
|
Interface type |
USB3.0 |
HAKKE |
USB3.0 |
HAKKE |
HAKKE |
USB3.0 |
|
Ekstern grænseflade |
- |
- |
- |
- |
C port |
- |
|
Størrelse mm2 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
|
vægt |
omkring 240 g |
omkring 120 g |
omkring 240 g |
omkring 120 g |
omkring 120 g |
omkring 240 g |
Adresse
nr. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, Kina
Tlf
