Ultraviolet Wavefront Sensor, med en høj faseopløsning på 2NM RMS og ekstrem stærk vibrationsmodstand. Den har også en opløsning på 512×512 pixels (262.144 fasepunkter), der er i stand til at udføre interferensmålinger ved det bagerste brændplan. Teknologien kræver, at lyskilden har lav sammenhæng og eliminerer behovet for faseskift. Med det ultraviolette billeddannelsessystem er enheden i stand til bølgefrontmåling i realtid.
produktnavn |
Ultraviolet bølgefrontsensor |
Bølgelængdeområde |
200nm~450nm |
Målstørrelse |
13,3 mm×13,3 mm |
Rumlig opløsning |
26μm |
Sampling opløsning |
512×512(262144pixel) |
Faseopløsning |
<2nmRMS |
Absolut nøjagtighed |
10nmRMS |
Dynamisk rækkevidde |
90μm (256 min) |
Sampling rate |
32 fps |
Behandlingshastighed i realtid |
10Hz (fuld opløsning) |
Interface type |
USB3.0 |
Dimension |
70 mm×46,5 mm×68,5 mm |
Vægt |
omkring 240 g |
◆ UV-spektrum 200nm ~ 450nm bånd
◆Ultrahøj opløsning på 512×512 (262144) fasepunkter
◆ Enkeltkanals lys selvinterferens, intet referencelys påkrævet
◆2nm RMS høj fase opløsning
◆Ligesom billedbehandling, nem og hurtig optisk vejkonstruktion
◆Understøtter kollimerede stråler og høj NA ikke-kollimerede stråler
◆ Ekstremt stærk anti-vibrationsydelse, intet behov for optisk vibrationsisolering
Denne BOJIONG ultraviolette bølgefrontsensor, der bruges til måling af optisk systemaberration, optisk systemkalibrering, måling af flad (wafer) overfladeform, måling af optisk sfærisk overfladeform osv.
Laserstrålebølgefrontdetektion |
Bølgefrontdetektionsrespons af adaptiv optik Zernike-tilstand |
Eksempel på aberrationsmåling af optisk system
|
Eksempler på måling af optisk systemkalibrering
|
Eksempel på måling af waferoverfladeruhed
|
Mikroætsningsmorfologimåling - defektprøve 1 # -114 linjer |
BOJIONG Ultraviolet Wavefront Sensor udviklet af et team af professorer fra Zhejiang University og Nanyang Technological University of Singapore, med indenlandsk patenteret teknologi, den kombinerer diffraktion og interferens for at opnå en fælles fire-bølge tværgående forskydningsinterferens med overlegen detektionsfølsomhed og anti-vibrationsydelse. , og kan realisere realtid og højhastigheds dynamisk interferometri uden vibrationsisolering. Realtidsmålingen viser en billedhastighed på mere end 10 billeder. Samtidig har FIS4-sensoren en ultrahøj faseopløsning på 512×512 (260.000 fasepunkter), målebåndet dækker 200nm~15μm, målefølsomheden når 2nm, og målingens repeterbarhed er bedre end 1/1000λ ( RMS). Det kan bruges til laserstrålekvalitetsanalyse, plasmaflowfeltdetektion, realtidsmåling af højhastighedsflowfeltfordeling, billedkvalitetsevaluering af optisk system, mikroskopisk profilmåling og kvantitativ fasebilleddannelse af biologiske celler.
Adresse
nr. 578 Yingkou Road, Yangpu District, Shanghai, Kina
Tlf /